特許

J-GLOBAL ID：201603011017584831

パルス光源およびパルスレーザ光の位相差を安定に制御する方法

発明者： 山下 友勇 ,  入澤 昭好
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 細田 益稔
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013070265
公開番号（公開出願番号）：WO2014-024699
出願日： 2013年07月19日
公開日（公表日）： 2014年02月13日
要約：

本発明によるパルス光源1は、繰り返し周波数が所定値に制御されたマスタレーザ光パルスを出力するマスタレーザ112と、スレーブレーザ光パルスを出力するスレーブレーザ212と、所定値の周波数の電気信号と、スレーブレーザ光パルスの光強度に基づく電気信号との位相差を検出する位相比較器232と、ループフィルタ234と、ループフィルタ234の出力に、一定の繰り返し周期を有する繰り返し周波数制御信号を加算する加算器235と、マスタレーザ光パルスとスレーブレーザ光パルスとの位相差であるパルス間位相差を測定する位相比較器306とを備える。加算器235の出力に応じて、スレーブレーザ光パルスの繰り返し周波数が変化する。測定されたパルス間位相差を、パルス間位相差の目標値に合わせるように、繰り返し周波数制御信号の大きさを制御する。

請求項（抜粋）：

2つのパルスレーザ光の位相差に応じて繰り返し周波数制御信号源の繰り返し周波数制御信号をフィードバック制御するパルス光源。

IPC (3件)：

H01S 3/139 ,  H01S 3/23 ,  H01S 3/00

FI (3件)：

H01S3/139 ,  H01S3/23 ,  H01S3/00 A

Fターム (7件)：

5F172DD06 ,  5F172NN11 ,  5F172NN27 ,  5F172NP02 ,  5F172NP18 ,  5F172NQ09 ,  5F172ZZ13