特許
J-GLOBAL ID：201603011093984601
シリカガラスルツボの評価方法、シリコン単結晶の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
野村 一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-108431
公開番号（公開出願番号）：特開2016-153372
出願日： 2016年05月31日
公開日（公表日）： 2016年08月25日
要約：
【課題】シリカガラスルツボの評価方法、及びシリコン単結晶の製造方法を提供する。【解決手段】本発明は、シリカガラスルツボの内表面に沿って非接触で内部測距部を移動させ、移動経路上の複数の測定点において、内部測距部からシリカガラスルツボの内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、レーザー光の反射光をレーザー変位計で測定して2つのピークが観測されるように内部測距部と内表面との距離やレーザー光の出射方向を変化させて、2つのピークのうちの内表面側のピークの位置によって内部測距部と内表面との間の内表面距離を測定し、各測定点の三次元座標と、内表面距離を関連付けることによってシリカガラスルツボの内表面の三次元形状を求め、この複数の測定点においてラマンスペクトルの三次元分布を決定し、ラマンスペクトルが規定の範囲内に入っているか否かによってシリカガラスルツボの品質を検査する工程を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
シリカガラスルツボの内表面に沿って非接触で内部測距部を移動させ、
移動経路上の複数の測定点において、内部測距部から前記シリカガラスルツボの内表面に対して斜め方向にレーザー光を照射し、前記レーザー光の反射光をレーザー変位計で測定して2つのピークが観測されるように前記内部測距部と前記内表面との距離や前記レーザー光の出射方向を変化させて、前記2つのピークのうちの前記内表面側のピークの位置によって前記内部測距部と前記内表面との間の内表面距離を測定し、
各測定点の三次元座標と、前記内表面距離を関連付けることによって、前記シリカガラスルツボの内表面の三次元形状を求め、
この三次元形状上の複数の測定点においてラマンスペクトルを測定することによって、前記ラマンスペクトルの三次元分布を決定し、
前記ラマンスペクトルが規定の範囲内に入っているか否かによって前記シリカガラスルツボの品質を検査する工程を備えるシリカガラスルツボの評価方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF10
, 4G077EG02
, 4G077PD01
