特許
J-GLOBAL ID:201603011119364640

ワイヤソーによるワーク切断方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-240463
公開番号(公開出願番号):特開2014-087911
特許番号:特許第5972754号
出願日: 2012年10月31日
公開日(公表日): 2014年05月15日
請求項(抜粋):
【請求項1】平行に配置された複数の加工用ローラ間にワイヤを架設し、そのワイヤを走行させながら、ワイヤによってワークを切断するワーク切断方法において、 前記ワークをワーク支持台の一対の脚部間に接着剤を介して支持し、ワークの切断終了側の外側面には、前記接着剤より切断抵抗が高い材質の外側層を設けた状態でワークを切断し、前記外側層を塗布によって構成したワイヤソーによるワーク切断方法。
IPC (4件):
B24B 27/06 ( 200 6.01) ,  B28D 5/04 ( 200 6.01) ,  B28D 7/04 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)
FI (5件):
B24B 27/06 D ,  B28D 5/04 C ,  B28D 7/04 ,  H01L 21/304 611 W ,  H01L 21/304 611 B

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