特許
J-GLOBAL ID：201603011203675499
蓄電装置の電極の作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-125796
公開番号（公開出願番号）：特開2013-030464
特許番号：特許第6035054号
出願日： 2012年06月01日
公開日（公表日）： 2013年02月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 集電体と、前記集電体上に設けられた活物質層と、前記集電体と前記活物質層との間の混合層と、を有し、
前記活物質層は、第1の領域と、前記第1の領域上の第2の領域と、を有し、
前記第1の領域は、前記集電体を覆って形成され、
前記第2の領域は、複数のウィスカー状の活物質体を有し、
前記複数のウィスカー状の活物質体は、芯と、前記芯のまわりの外殻と、を有し、
前記外殻は、非晶質構造であり、
前記混合層は、前記集電体が有する金属元素と前記活物質層が有する活物質が反応して形成されたものであり、結晶性を有さず、
前記混合層の厚さは、100nm以下である蓄電装置の電極の作製方法であって、
前記活物質層は、反応室内において、圧力を20Pa以上200Pa以下とし、530°C以上580°C未満の温度で、LPCVD法によりシランガスと窒素ガスを用いて形成し、
前記活物質層を形成する際の前記集電体の昇温時に、前記反応室内にヘリウムガスを導入することを特徴とする蓄電装置の電極の作製方法。
IPC (9件)：
H01M 4/1395 ( 201 0.01)
, H01M 4/134 ( 201 0.01)
, H01M 4/36 ( 200 6.01)
, H01M 4/38 ( 200 6.01)
, H01M 4/64 ( 200 6.01)
, H01M 4/66 ( 200 6.01)
, H01G 11/28 ( 201 3.01)
, H01G 11/36 ( 201 3.01)
, H01G 11/72 ( 201 3.01)
H01M 4/139
, H01M 4/134
, H01M 4/36 C
, H01M 4/38 Z
, H01M 4/64 A
, H01M 4/66 A
, H01G 11/28
, H01G 11/36
, H01G 11/72
