特許
J-GLOBAL ID:201603011306951435
半導体装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
森 哲也
, 小西 恵
, 田中 秀▲てつ▼
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-035137
公開番号(公開出願番号):特開2013-172000
特許番号:特許第5941700号
出願日: 2012年02月21日
公開日(公表日): 2013年09月02日
請求項(抜粋):
【請求項1】 シリコン基板と、
該シリコン基板上に形成された酸化膜と、
該酸化膜上に形成されたP型ポリシリコン抵抗及びN型ポリシリコン抵抗と
を備え、
前記P型ポリシリコン抵抗と前記N型ポリシリコン抵抗とが直列に接続されており、かつ前記P型ポリシリコン抵抗と前記N型ポリシリコン抵抗とが以下の関係式
(ここで、R(P)、R(N)は周辺との電位差が0Vの時のP型,N型ポリシリコン抵抗の抵抗値、l(P)、l(N)はP型,N型のポリシリコン抵抗の長さを示す)
を満たすことを特徴とする半導体装置。
IPC (2件):
H01L 21/822 ( 200 6.01)
, H01L 27/04 ( 200 6.01)
FI (1件):
引用特許:
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