特許

J-GLOBAL ID：201603011386206000

切削ブレード交換システム

発明者： 花島 聡
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 松本 昂 ,  岡本 知広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-193010
公開番号（公開出願番号）：特開2016-064450
出願日： 2014年09月22日
公開日（公表日）： 2016年04月28日
要約：

【課題】ワッシャー型の切削ブレードを容易に交換することのできる切削ブレード交換システムを提供する。【解決手段】切削装置のスピンドルに固定されたブレードマウントに着脱可能に装着される切削ブレード60を交換する切削ブレード交換システムは、該切削ブレードの側面と接触する第1の面と、該第1の面の反対側の第2の面と、該第2の面から該第1の面に貫通した貫通穴64と、を有する固定フランジ62と、該切削ブレードと、該切削ブレードと該固定フランジとを吸着して保持する吸着面74と、一端が該吸着面に接続され他端が外部の吸引路80を介して吸引源に接続される吸引路78と、を有するブレード交換治具70と、該吸引路を開閉する電磁弁と、を備え、該切削ブレードを交換する際には、該ブレード交換治具の該吸着面で該固定フランジの該第2の面を吸着して該固定フランジを保持すると共に、該貫通穴を介して該切削ブレードを吸着して保持する。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

切削装置のスピンドルに固定されたブレードマウントに着脱可能に装着される切削ブレードを交換する切削ブレード交換システムであって、 切削ブレードの側面と接触する第1の面と、該第1の面の反対側の第2の面と、該第2の面から該第1の面に貫通した貫通穴と、を有する固定フランジと、 該固定フランジの該第1の面に接触するように支持された切削ブレードと、 該切削ブレードと該固定フランジとを吸着して保持する吸着面と、一端が該吸着面に接続され他端が吸引手段に選択的に接続される吸引路と、を有するブレード交換治具と、 該吸引路を開閉する電磁弁と、を備え、 該切削ブレードを交換する際には、該ブレード交換治具の該吸着面で該固定フランジの該第2の面を吸着して該固定フランジを保持すると共に、該貫通穴を介して該切削ブレードを吸着して保持することを特徴とする切削ブレード交換システム。

IPC (3件)：

B24B 45/00 ,  B24B 27/06 ,  H01L 21/301

FI (3件)：

B24B45/00 A ,  B24B27/06 M ,  H01L21/78 F

Fターム (18件)：

3C034AA13 ,  3C034BB68 ,  3C034DD10 ,  3C158AA03 ,  3C158AA15 ,  3C158CA01 ,  3C158CB04 ,  5F063AA23 ,  5F063AA29 ,  5F063AA41 ,  5F063DD02 ,  5F063DD03 ,  5F063DD21 ,  5F063DE33 ,  5F063FF01 ,  5F063FF41 ,  5F063FF48 ,  5F063FF49