タングステン焼結体スパッタリングターゲット及び該ターゲットを用いて成膜したタングステン膜

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：小越勇 , 小越一輝
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-526304
特許番号：特許第5851612号
出願日： 2013年10月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】焼結時に使用するW粉末の粒度分布測定で、10μm以下のタングステン粒子の粒径の割合が30%以上70%未満であり、モリブデンの含有量が3ppm以下であるW粉末を用いて焼結したことを特徴とするタングステン焼結体スパッタリングターゲット。

IPC (6件)：

C23C 14/34 ( 200 6.01) , C23C 14/14 ( 200 6.01) , C22C 27/04 ( 200 6.01) , B22F 5/00 ( 200 6.01) , C22F 1/18 ( 200 6.01) , C22F 1/00 ( 200 6.01)

FI (9件)：

C23C 14/34 A , C23C 14/14 D , C22C 27/04 101 , B22F 5/00 Z , C22F 1/18 B , C22F 1/00 628 , C22F 1/00 623 , C22F 1/00 691 A , C22F 1/00 691 B

引用特許：

出願人引用 (1件)

審査官引用 (1件)

引用文献：

出願人引用 (1件)

審査官引用 (1件)

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