特許
J-GLOBAL ID：201603011444757909
データ生成システムおよびデータ生成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
振角 正一
, 梁瀬 右司
, 大西 一正
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-216144
公開番号（公開出願番号）：特開2014-072307
特許番号：特許第5969875号
出願日： 2012年09月28日
公開日（公表日）： 2014年04月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板処理装置の仕様に対応して前記基板処理装置を動作させるためのコンフィグレーションデータを生成するデータ生成システムであって、
互いに異なる複数の仕様および互いに異なる複数のコンフィグレーションデータを階層構造化して記憶するとともに、仕様とコンフィグレーションデータとの階層間での関連を示す関連情報を記憶する記憶部と、
前記基板処理装置の仕様を取得する仕様取得部と、
前記仕様取得部が取得した仕様に対応するコンフィグレーションデータを前記関連情報に基づいて前記複数のコンフィグレーションデータから選択し、前記仕様取得部で取得した仕様を有する基板処理装置を動作させるためのコンフィグレーションデータを生成するデータ生成部と、
を備えるデータ生成システム。
IPC (3件)：
G06F 9/44 ( 200 6.01)
, G05B 19/042 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
G06F 9/06 620 A
, G05B 19/042
, H01L 21/30 562
