特許
J-GLOBAL ID:201603011597846900
光学素子の製造およびそれを組込んだモジュール
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人深見特許事務所
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-550362
公開番号(公開出願番号):特表2016-506326
出願日: 2013年12月10日
公開日(公表日): 2016年03月03日
要約:
ウェハスケールスペーサ/光学構造体の製造は、単一の複製ツールを用いて、光学複製要素およびスペーサ複製セクションを光学ウェハ(または他のウェハ)上に直接複製することを含む。複製された光学素子およびスペーサ要素は、同じかまたは異なる材料で構成することができる。
請求項(抜粋):
ウェハスケールスペーサ/光学構造体を製造する方法であって、前記方法は、
光学素子複製セクションおよびスペーサ複製セクションを有する複製ツールを提供することと、
第1の材料の複製された光学素子を提供するように、前記複製ツールを用いて前記光学素子複製セクションのネガをウェハ上に形成することと、
前記第1の材料とは異なる第2の材料の複製されたスペーサ要素を提供するように、前記複製ツールを用いて前記スペーサ複製セクションのネガを前記ウェハ上に形成することとを含む、方法。
IPC (3件):
B29D 11/00
, G02B 3/00
, G02B 7/02
FI (4件):
B29D11/00
, G02B3/00 A
, G02B7/02 B
, G02B7/02 Z
Fターム (12件):
2H044AB19
, 2H044AB24
, 2H044AJ03
, 2H044AJ06
, 4F213AA36
, 4F213AC05
, 4F213AH73
, 4F213WA02
, 4F213WA04
, 4F213WA12
, 4F213WA83
, 4F213WB01
引用特許:
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