特許
J-GLOBAL ID：201603011612211054
シリカガラスを製造するために気化した前駆体および気体を混合するための方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
柳田 征史
, 佐久間 剛
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-518885
特許番号：特許第5930557号
出願日： 2012年06月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 シリカスートを形成する方法において、
混合機筐体、該混合機筐体と連通した出口を有する前駆体送達槽、該混合機筐体と連通した出口を有する酸化性ガス送達槽、および該混合機筐体内で、前記前駆体送達槽の出口と前記酸化性ガス送達槽の出口との間に配置された逆火部材を備えた装置を提供する工程であって、前記逆火部材は、L最小(cm)=0.453U(Re)-0.5567により定義された酸化性ガス送達槽の出口からの最小距離に配置されており、式中、Uは、前駆体のcm/秒で表された流速であり、Reは、流れのレイノルズ数である、工程、
前記前駆体送達槽を通じて、前記混合機筐体内に気化した前駆体を送達する工程、
前記酸化性ガス送達槽を通じて、該気化した前駆体と混合すべき酸化性ガスを、該気化した前駆体と該酸化性ガスが前記混合機筐体内で混合されるように送達する工程、
混合された気化した前駆体と酸化性ガスを流れとしてバーナに排出して、シリカスートを形成する工程
を有してなる方法。
IPC (2件)：
C03B 37/018 ( 200 6.01)
, C03B 8/04 ( 200 6.01)
C03B 37/018 C
, C03B 8/04 C
, C03B 8/04 G
, C03B 8/04 J
