特許
J-GLOBAL ID：201603011693689964
欠陥検出方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
大阿久 敦子
, 山下 一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-184034
公開番号（公開出願番号）：特開2014-041081
特許番号：特許第5921990号
出願日： 2012年08月23日
公開日（公表日）： 2014年03月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 光学系を構成する光源からの光を照射して、前記光学系の解像度以下の寸法の繰り返しパターンを有する試料の光学画像を、前記光学系の条件を変えて複数取得する工程と、
前記複数の光学画像について、ノイズフィルタおよび畳み込みフィルタの少なくとも一方を用いた補正処理を行う工程と、
前記複数の光学画像のいずれかを基準として他の光学画像の位置をシフトし、前記他の光学画像のシフト量と、前記複数の光学画像同士における階調値の相関の変化との関係を求め、前記相関が最も高くなるときの前記シフト量を基に前記複数の光学画像の位置合わせを行う工程と、
前記位置合わせ後の前記複数の光学画像を用いて、前記試料の欠陥検出を行う工程とを有し、
前記複数の光学画像は、前記光学系と前記試料との焦点位置を変えて撮像されたものであることを特徴とする欠陥検出方法。
IPC (4件)：
G01N 21/956 ( 200 6.01)
, G06T 1/00 ( 200 6.01)
, G01B 11/24 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
G01N 21/956 A
, G06T 1/00 305 A
, G01B 11/24 F
, H01L 21/30 502 D
, H01L 21/30 502 V
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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