特許
J-GLOBAL ID：201603011835438727
集積回路検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 黒木 義樹
, 柴山 健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-036867
公開番号（公開出願番号）：特開2016-136153
出願日： 2016年02月29日
公開日（公表日）： 2016年07月28日
要約：
【課題】集積回路の検査精度を向上させることができる集積回路検査装置を提供する。【解決手段】集積回路検査装置1は、半導体基板21、及び半導体基板21の表面21a側に形成された回路部22を有する集積回路20を検査するための装置である。集積回路検査装置1は、集積回路20に照射される光Lを発生する光発生部3と、集積回路20に照射される光Lの波長幅を調整する波長幅調整部5,14と、集積回路20に照射される光Lの照射位置を調整する照射位置調整部8と、光発生部3からの光Lが半導体基板21の裏面21bを介して回路部22に照射されたときに、集積回路20からの光Lを検出する光センサ12と、を備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体基板、及び前記半導体基板の表面側に形成された回路部を有する集積回路を検査するための検査装置であって、
前記集積回路にテスト信号を印加するテスタと、
波長幅を有する光を発生する光源と、
前記光源で発生する光を前記半導体基板に照射する光学系と、
前記光学系により照射され、かつ、前記テスト信号に応じて変調され、前記集積回路において反射された光を検出し、電気信号を出力する光検出部と、
前記電気信号の特定の周期あるいは周波数に対応する信号を解析する解析部と、を備える検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R31/28 L
, H01L21/66 B
2G132AA01
, 2G132AB02
, 2G132AE16
, 2G132AE22
, 2G132AF14
, 2G132AG01
, 2G132AH00
, 2G132AL11
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106BA04
, 4M106CA17
, 4M106DJ20
