特許

J-GLOBAL ID：201603011865880807

プローブ変位計測装置、およびそれを有するイオン化装置、質量分析装置、情報取得システム

発明者： 大塚 洋一 ,  教學 正文
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-003580
公開番号（公開出願番号）：特開2016-128788
出願日： 2015年01月09日
公開日（公表日）： 2016年07月14日
要約：

【課題】 プローブの従来よりも大きな変位を計測可能なプローブ変位計測装置を提供する。【解決手段】 プローブ変位計測装置1は、片持ち梁状のプローブ11と、プローブ11に光を照射する光照射手段12と、光照射手段12によって照射され、プローブ11の表面にて反射された反射光105をスポットとして受光する受光素子14を有する。また、プローブ変位計測装置1は、受光素子14上におけるスポットの位置に基づいてプローブ11の変位を取得する変位取得手段15を有する。受光素子14は、直線状の分割線141によって分割された第1の受光面14aと第2の受光面14bとを有し、スポットの受光素子14上における変位方向と分割線141とがなす角が、0°より大きく90°より小さい。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

片持ち梁状のプローブと、 前記プローブに光を照射する光照射手段と、 前記光照射手段によって照射され、前記プローブの表面にて反射された反射光をスポットとして受光する受光素子と、 前記受光素子上における前記スポットの位置に基づいて前記プローブの変位を取得する変位取得手段と、を有するプローブ変位計測装置であって、 前記受光素子は、直線状の分割線によって分割された第1の受光面と第2の受光面とを有し、 前記スポットの前記受光素子上における変位方向と前記分割線とがなす角が、0°より大きく90°より小さいことを特徴とするプローブ変位計測装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01N 27/62

FI (4件)：

G01B11/00 A ,  G01N27/62 V ,  G01N27/62 G ,  G01N27/62 Y

Fターム (30件)：

2F065AA02 ,  2F065AA09 ,  2F065DD00 ,  2F065FF09 ,  2F065FF43 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ23 ,  2F065LL28 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065UU02 ,  2G041CA01 ,  2G041DA05 ,  2G041DA18 ,  2G041FA10 ,  2G041FA12 ,  2G041GA02 ,  2G041GA03 ,  2G041GA05 ,  2G041GA06 ,  2G041GA08 ,  2G041GA16 ,  2G041GA20 ,  2G041GA27 ,  2G041GA29 ,  2G041MA01 ,  2G041MA04