特許

J-GLOBAL ID：201603011921923964

熱処理炉内の運搬台搬送部材および熱処理炉

発明者： 澤井 崇
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-253386
公開番号（公開出願番号）：特開2014-103208
特許番号：特許第5858901号
出願日： 2012年11月19日
公開日（公表日）： 2014年06月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ウエハを乗せた運搬台をトレイと円筒状の炉心管との間で搬送する熱処理炉の運搬台搬送部材において、 前記運搬台に連結するフックを有し、前記運搬台を前記トレイと前記炉心管との間で往復動させるフック棒と、 前記炉心管内を移動する前記運搬台が前記炉心管の円周方向に回転したときに、その回転と逆方向に前記フック棒に力を及ぼすように前記フック棒を支持するフック棒支持部材と、 を備え、 前記フック棒は、前記フック棒支持部材で支持される位置で、前記フック棒の表面から所定の方向の両側に突出する支持板を有し、 前記フック棒支持部材は、 前記フック棒を挿入したときに、前記支持板の配置位置から略直交する方向で、前記フック棒を回転自在に支持する軸支部と、 前記フック棒が回転力を受けたときに、逆方向の回転力を前記支持板に対して生み出す弾性部材と、 を有することを特徴とする熱処理炉の運搬台搬送部材。

IPC (3件)：

H01L 21/22 ( 200 6.01) ,  H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  H01L 21/31 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H01L 21/22 501 B ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/31 B

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 半導体用熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-188889   出願人：三菱電機株式会社
• 特開昭61-142736
  
• 半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-336296   出願人：富士電機株式会社
• 特開平4-114424
  

審査官引用 (4件)

• 半導体用熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-188889   出願人：三菱電機株式会社
• 特開昭61-142736
  
• 半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-336296   出願人：富士電機株式会社
• 特開平4-114424