板状物の加工方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：松本昂 , 大上寛
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-095565
公開番号（公開出願番号）：特開2013-222936
特許番号：特許第6029312号
出願日： 2012年04月19日
公開日（公表日）： 2013年10月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】交差する複数の分割予定ラインが設定された板状物の加工方法であって、板状物に放射状に引張力を作用させて板状物を該分割予定ラインに沿って分割し、複数のチップを形成する分割ステップと、該分割ステップを実施した後、分割された板状物の上面からゲル状吸着部材を押圧して複数のチップ間に侵入させ、少なくともチップ間の異物を該ゲル状吸着部材に吸着させる異物吸着ステップと、該異物吸着ステップを実施した後、該ゲル状吸着部材を板状物上から除去することで板状物に付着していた異物を除去する除去ステップと、を備えたことを特徴とする板状物の加工方法。

IPC (1件)：