特許
J-GLOBAL ID：201603012031036843
圧電/電歪膜型素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-073592
公開番号（公開出願番号）：特開2013-207040
特許番号：特許第5934539号
出願日： 2012年03月28日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 支持体の上に設けられた平板状の下部電極と、
前記下部電極の上に設けられた圧電体層と、
前記圧電体層の上に前記下部電極と平行に向かい合うように設けられた平板状の上部電極と、
を備えた積層体であり、上方からみた形状が長手方向を有する圧電/電歪膜型素子であって、
前記圧電体層は焼成体であり、前記圧電体層を構成する圧電材料の粒子の平均粒径が0.5〜5.0μmの範囲にあり、
前記圧電体層の側面は、前記範囲の平均粒径を有する圧電材料の複数の粒子が集合してなる焼結面であり、
前記圧電体層における厚さ方向且つ前記長手方向に垂直な方向の断面の形状の輪郭を近似した仮想線で表される形状が、前記下部電極との界面に対応する下底が前記上部電極との界面に対応する上底より長く、且つ、前記下底の端点にある角の大きさが30〜85°の台形であり、
前記圧電体層の側面の下端部に位置し且つ前記下部電極に接触する圧電材料の複数の粒子のうち、前記長手方向に垂直な方向の幅(L7)に対する高さ(L8)の割合であるアスペクト比(L8/L7)が3/4以下となり、かつ、前記圧電体層における厚さ方向且つ前記長手方向に垂直な方向の断面において断面視した場合に、雰囲気との界面の位置に稜線を有し、前記下部電極との界面の位置に境界線を有し、前記稜線と前記境界線との間の部分がテーパになっているものが半分以上存在する圧電/電歪膜型素子。
IPC (4件)：
H01L 41/09 ( 200 6.01)
, H01L 41/187 ( 200 6.01)
, H01L 41/332 ( 201 3.01)
, H01L 41/43 ( 201 3.01)
H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/332
, H01L 41/43
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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