特許
J-GLOBAL ID：201603012078670982

イメージング装置及び方法

発明者：
▲高▼橋 幸生

▲高▼橋 幸生 について

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鈴木 明大

鈴木 明大 について

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下村 啓

下村 啓 について

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広瀬 真

広瀬 真 について


出願人/特許権者：
国立研究開発法人理化学研究所

国立研究開発法人理化学研究所 について


代理人 (1件)： 特許業務法人 佐野特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-012864
公開番号（公開出願番号）：特開2016-138772
出願日： 2015年01月27日
公開日（公表日）： 2016年08月04日
要約：
【課題】X線タイコグラフィにおいて検出器に必要な検出ダイナミックレンジを圧縮する。【解決手段】X線の入射光L0が照射される試料10の下流側に二次元検出器20を配置する。試料10からの透過X線を遮蔽する遮蔽体50が試料10及び二次元検出器20間に配置される。試料10の上流側に参照光源用構造体40を配置する。参照光源用構造体40は、入射光L0の一部を散乱して散乱光をインラインホログラムの参照光として試料10に照射する。二次元検出器20の検出面には、試料10の構造に応じた回折X線パターン及びインラインホログラムが形成される。それらの検出結果である光強度検出パターンを試料10をステップ移動させながら順次取得し、複数の光強度検出パターンに対して反復的位相回復アルゴリズムによる演算を適用することで試料10の像を生成する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
入射光が照射される試料の上流側に配置され、前記入射光の一部を散乱させて散乱光を前記試料に向けて放射する散乱用構造体と、 前記試料の下流側に配置され、前記入射光に基づいて前記試料から到来する光の強度を所定の二次元平面内で検出する二次元検出器と、 前記試料からの前記二次元検出器に向かう光の内、少なくとも最大強度を持つ光の前記二次元検出器への到達を遮蔽する遮蔽体と、 前記二次元検出器の検出結果に基づき前記試料の像を生成する演算手段と、を備えた ことを特徴とするイメージング装置。
IPC (5件)：
G01N 23/04 ,  G01T 1/17 ,  G01T 7/00 ,  G01N 23/201 ,  G01N 21/33
FI (6件)：
G01N23/04 ,  G01T1/17 F ,  G01T1/17 A ,  G01T7/00 A ,  G01N23/201 ,  G01N21/33
Fターム (32件)：
2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001BA14 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001DA09 ,  2G001FA02 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001HA07 ,  2G001JA09 ,  2G001MA05 ,  2G001MA06 ,  2G059AA05 ,  2G059BB10 ,  2G059BB15 ,  2G059EE02 ,  2G059FF01 ,  2G059FF03 ,  2G059HH04 ,  2G059JJ13 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G188AA25 ,  2G188AA27 ,  2G188BB02 ,  2G188CC28 ,  2G188DD05 ,  2G188DD30 ,  2G188DD31 ,  2G188EE12 ,  2G188EE17
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)
引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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