特許

J-GLOBAL ID：201603012515914829

研磨パッド

発明者： 木村 毅
出願人/特許権者： 東洋ゴム工業株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人 ユニアス国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-264564
公開番号（公開出願番号）：特開2016-124043
出願日： 2014年12月26日
公開日（公表日）： 2016年07月11日
要約：

【課題】研磨レートの低下を抑制しながらパーティクルやスクラッチの発生を抑制し、研磨不良を低減することができる研磨パッドを提供する。【解決手段】円形研磨パッドである円形研磨シート8は円形研磨層を含む。前記円形研磨層は、同心円溝10と1つの十字状溝11とを有し、前記十字状溝11が前記円形研磨層の中心で略直交している。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

円形研磨層を含む円形研磨パッドであって、 前記円形研磨層は同心円溝と1つの十字状溝とを有し、 前記十字状溝が前記円形研磨層の中心で略直交していることを特徴とする円形研磨パッド。

IPC (2件)：

B24B 37/26 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B24B37/00 T ,  H01L21/304 621D ,  H01L21/304 622F

Fターム (23件)：

3C158AA07 ,  3C158AA09 ,  3C158CA01 ,  3C158CA04 ,  3C158CA06 ,  3C158CB01 ,  3C158CB03 ,  3C158CB10 ,  3C158DA12 ,  3C158DA17 ,  3C158EA11 ,  3C158EB01 ,  5F057AA03 ,  5F057AA14 ,  5F057AA21 ,  5F057AA24 ,  5F057BA11 ,  5F057BB16 ,  5F057BB22 ,  5F057BB37 ,  5F057CA11 ,  5F057DA03 ,  5F057EB08