光MEMS干渉計におけるミラー位置の自己校正

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人OFH特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-555411
公開番号（公開出願番号）：特表2016-515946
出願日： 2014年01月28日
公開日（公表日）： 2016年06月02日
要約：

可動ミラーのミラー位置の自己校正を行う微小電気機械システム(MEMS)干渉計を提供する。可動ミラーは、静電容量の変化するMEMSアクチュエータに接合されている。本MEMS干渉計は、前記可動ミラーの2つ又はそれ以上の既知の位置での前記MEMSアクチュエータの静電容量を測定する静電容量検出回路と、前記既知の位置での前記アクチュエータの静電容量を用いて前記静電容量検出回路のドリフトを補償する校正モジュールと、を含む。

請求項（抜粋）：

微細電気機械システム(MEMS)装置であって、可動ミラーと、可動ミラーに結合されて当該可動ミラーに変位を発生させる、静電容量の変化するMEMSアクチュエータと、前記MEMSアクチュエータの静電容量を前記可動ミラーの位置に対応付けるテーブルを保持するメモリと、前記MEMSアクチュエータに結合され、前記MEMSアクチュエータの現在の静電容量を検出する静電容量検出回路と、前記テーブルにアクセスして、前記MEMSアクチュエータの前記現在の静電容量に基づいて前記可動ミラーの現在の位置を特定するデジタルシグナルプロセッサと、前記可動ミラーの2つ又はそれ以上の既知の位置のそれぞれにおける前記MEMSアクチュエータの実際の静電容量を特定して、前記可動ミラーの前記現在の位置に適用すべき補正量を決定する校正モジュールと、を備え、前記デジタルシグナルプロセッサは、さらに、前記補正量を用いて前記可動ミラーの補正された現在位置を出力する、 MEMS装置。

IPC (5件)：

B81B 7/02 , G01J 3/45 , G01J 3/02 , G01B 9/02 , G02B 26/00

FI (5件)：

B81B7/02 , G01J3/45 , G01J3/02 C , G01B9/02 , G02B26/00

Fターム (51件)：

2F064CC10 , 2F064DD09 , 2F064EE01 , 2F064FF07 , 2F064GG12 , 2F064GG22 , 2F064HH01 , 2F064HH05 , 2F064JJ15 , 2F064KK04 , 2G020CA12 , 2G020CB05 , 2G020CB21 , 2G020CB43 , 2G020CC23 , 2G020CC47 , 2G020CC55 , 2G020CD03 , 2G020CD16 , 2G020CD34 , 2G020CD35 , 2G020CD37 , 2G020CD38 , 2H141MA21 , 2H141MB23 , 2H141MC07 , 2H141MD02 , 2H141MD38 , 2H141ME09 , 2H141ME24 , 2H141ME25 , 2H141MF21 , 2H141MF26 , 2H141MF28 , 2H141MZ13 , 2H141MZ16 , 2H141MZ17 , 2H141MZ30 , 3C081AA01 , 3C081AA13 , 3C081BA07 , 3C081BA28 , 3C081BA43 , 3C081BA48 , 3C081BA53 , 3C081BA76 , 3C081CA02 , 3C081CA13 , 3C081DA04 , 3C081DA06 , 3C081EA08

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