トリハロシランの精製装置及び精製方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：龍華国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-540955
特許番号：特許第5909805号
出願日： 2012年11月12日
請求項（抜粋）：

【請求項1】内部に塔頂領域、予備分離領域、主分離領域及び塔底領域が形成されていて、前記予備分離領域にトリハロシランを含むフィードを導入することができるように設置された流入口、第1流出口、第2流出口及び第3流出口を含む分離壁型蒸留塔と、前記分離壁型蒸留塔に連結されている第1蒸留塔と、を含むトリハロシランの精製装置であって、前記塔頂領域及び/又は前記塔底領域のオープン長さは、800mm〜3,500mmであり、前記分離壁型蒸留塔の前記分離壁の長さは、前記分離壁型蒸留塔の全体理論段数の30%以上であり、前記第2流出口は、前記主分離領域の分離壁区間の6/9〜8/9区間に形成されている、トリハロシランの精製装置。

IPC (2件)：