ノズルの洗浄装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人暁合同特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-051805
公開番号（公開出願番号）：特開2013-187394
特許番号：特許第5933993号
出願日： 2012年03月08日
公開日（公表日）： 2013年09月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板に塗布液を塗布するノズルの洗浄装置であって、前記基板の周りを囲むカップ部と、前記カップ部の内部において前記ノズルを洗浄する洗浄部と、前記カップ部の下方において回収液を貯留する貯留部と、前記貯留部の外周端部を覆う形態で、前記カップ部を挟む両側に一対設けられた一対の霧化部と、各霧化部の下面に接続され、前記貯留部の外周端部で霧化された回収液を前記霧化部から回収タンクへ送り込む一対の回収配管とを備え、前記洗浄部は、前記ノズルの洗浄を行う洗浄位置と、前記ノズルの洗浄を行わない待機位置との間を移動可能とされ、前記待機位置は、前記ノズルからの前記塗布液が触れない位置とされているノズルの洗浄装置。

IPC (3件)：