物理量センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：井上学 , 戸田裕二 , 岩崎重美
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-274204
公開番号（公開出願番号）：特開2014-119330
特許番号：特許第6018903号
出願日： 2012年12月17日
公開日（公表日）： 2014年06月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】検出部を具備する半導体チップと、前記半導体チップが実装されるフレームと、前記半導体チップと前記フレームとを封止し、前記検出部を外部に露出させる開口部を具備するモールド樹脂部と、前記モールド樹脂部のうち前記開口部の端部と、前記検出部に形成される配線層との間に設けられ、前記端部からの応力を吸収する金属材料を含む応力吸収層と、を有することを特徴とする物理量センサ。

IPC (1件)：