特許

J-GLOBAL ID：201603012893566464

パージ機能を備えたストッカと、ストッカユニット

発明者： 村田 正直 ,  山路 孝
出願人/特許権者： 村田機械株式会社
代理人 (2件)： 塩入 明 ,  塩入 みか
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013067083
公開番号（公開出願番号）：WO2014-030421
出願日： 2013年06月21日
公開日（公表日）： 2014年02月27日
要約：

パージ機能を備えた間口と備えない間口とが共存でき、かつパージ機能を備えない間口をパージ機能を備えた間口に容易に変更できるストッカを提供する。上下方向あるいは水平方向に沿って、クリーンガスの供給用ノズルを備えない棚受けを複数取り付け自在なストッカのフレームに、ストッカユニットのベースが取り付けられている。ストッカユニットは、ベースに沿って設けられているクリーンガスの供給用のパイプと、ベースに取り付けられ、かつ上下方向あるいは水平方向に沿って配列されている、複数のパージ機能付き棚受けとを備え、棚受けはコンテナを支持自在で、かつコンテナにパイプからクリーンガスを供給するノズルを備えている。

請求項（抜粋）：

クリーンガスの供給用ノズルを備えない棚受けを、上下方向あるいは水平方向に沿って、複数取り付け自在なフレームと、 ストッカユニットとから成り、 前記ストッカユニットは、 柱または梁から成り、前記フレームに取り付けられているベースと、 前記ベースに沿って設けられているクリーンガスの供給用のパイプと、 複数個のパージ機能付き棚受けとから成り、 前記パージ機能付き棚受けは、前記ベースに取り付けられて、上下方向あるいは水平方向に沿って配列され、コンテナを支持自在で、かつコンテナに前記パイプからクリーンガスを供給するノズルを備えている、パージ機能を有するストッカ。

IPC (2件)：

B65G 1/14 ,  H01L 21/673

FI (3件)：

B65G1/14 B ,  B65G1/14 Z ,  H01L21/68 T

Fターム (33件)：

3F022BB09 ,  3F022EE05 ,  3F022FF01 ,  3F022HH02 ,  3F022MM01 ,  3F022MM13 ,  3F022PP06 ,  5F131AA02 ,  5F131CA12 ,  5F131CA41 ,  5F131DA05 ,  5F131DA37 ,  5F131DA43 ,  5F131DC05 ,  5F131DC06 ,  5F131GA14 ,  5F131GA19 ,  5F131GA73 ,  5F131GA82 ,  5F131GA92 ,  5F131GB02 ,  5F131GB14 ,  5F131GB22 ,  5F131GB27 ,  5F131GB29 ,  5F131JA04 ,  5F131JA16 ,  5F131JA24 ,  5F131JA35 ,  5F131KA05 ,  5F131KA11 ,  5F131KA47 ,  5F131KB32