特許
J-GLOBAL ID：201603012934737872

ダイ供給装置のエキスパンドリング内径計測システム及び突き上げ動作干渉回避システム

発明者：
佐野 孝之

佐野 孝之 について


出願人/特許権者：
富士機械製造株式会社

富士機械製造株式会社 について


代理人 (1件)： 加古 宗男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-544175
特許番号：特許第5984193号
出願日： 2012年11月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ウエハをダイシングして形成した複数のダイが貼着された伸縮可能なダイシングシートの外周部を内側・外側の両エキスパンドリングで挟み込んで張設したウエハパレットと、前記ウエハパレットを複数段に収容したマガジンと、前記マガジン内のウエハパレットをピックアップ位置へ引き出す引き出し機構と、前記ピックアップ位置の下方に配置された突き上げポットを上下動させる突き上げ機構とを備え、前記引き出し機構により前記マガジン内のウエハパレットをピックアップ位置へ引き出して前記ダイシングシート上のダイを吸着ノズルに吸着してピックアップする際に、前記突き上げ機構により前記突き上げポットをダイシングシートの下面に接触又は近接する所定のシート吸着位置まで上昇させて該ダイシングシートを該突き上げポットの上面に吸着した状態で、該突き上げポット内の突き上げピンを該突き上げポットの上面から上方に突出させることで、該ダイシングシートのうちの吸着しようとするダイの貼着部分を前記突き上げピンで突き上げて、該吸着ノズルに該ダイを吸着して該ダイシングシートからピックアップするダイ供給装置のエキスパンドリング内径計測システムにおいて、 前記ウエハパレット上の外側のエキスパンドリングを検知対象物とする対物センサを備え、前記引き出し機構により前記マガジン内のウエハパレットを前記ピックアップ位置へ引き出す際に該ウエハパレット上の外側のエキスパンドリングが前記対物センサの検知エリアを通過するように構成され、前記対物センサの検出結果と前記ウエハパレットの移動量との関係に基づいて前記外側のエキスパンドリングの外径を計測する手段と、前記外側のエキスパンドリングの外径計測値と前記内側・外側の両エキスパンドリングの合計幅とに基づいて前記内側のエキスパンドリングの内径を算出する手段とを備えていることを特徴とするダイ供給装置のエキスパンドリング内径計測システム。
IPC (2件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  H01L 21/67 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 E
引用特許：
出願人引用 (5件)
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