特許

J-GLOBAL ID：201603012982391236

レーザシステム及び極端紫外光生成システム

発明者： 柳田 達哉 ,  若林 理
出願人/特許権者： ギガフォトン株式会社
代理人 (2件)： 保坂 延寿 ,  新井 信昭
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013061783
公開番号（公開出願番号）：WO2013-161760
出願日： 2013年04月22日
公開日（公表日）： 2013年10月31日
要約：

レーザシステムが、クロック生成器と、光共振器を含むモードロックレーザ装置と、光共振器の光共振器長を調整可能に構成された調整装置と、パルスレーザ光の光路に配置され、パルスレーザ光を検出して検出信号を出力可能に構成された検出器と、パルスレーザ光の光路に配置され、パルスレーザ光をスイッチング可能に構成されたスイッチング装置と、クロック生成器によって出力されるクロック信号と検出器によって出力される検出信号とに基づいて、調整装置を制御可能に構成され、クロック生成器によって出力されるクロック信号と外部装置から入力されるタイミング信号とに基づいて、スイッチング装置を制御可能に構成された制御部と、を備えてもよい。

請求項（抜粋）：

クロック信号を出力可能に構成されたクロック生成器と、 光共振器を含み、相対的に位相が固定された複数の縦モードで光を発振させてパルスレーザ光を出力可能に構成されたモードロックレーザ装置と、 前記光共振器の光共振器長を調整可能に構成された調整装置と、 前記パルスレーザ光の光路に配置され、前記パルスレーザ光を検出して検出信号を出力可能に構成された検出器と、 前記パルスレーザ光の光路に配置され、前記パルスレーザ光をスイッチング可能に構成されたスイッチング装置と、 前記クロック生成器によって出力されるクロック信号と前記検出器によって出力される検出信号とに基づいて、前記調整装置を制御可能に構成され、前記クロック生成器によって出力されるクロック信号と外部装置から入力されるタイミング信号とに基づいて、前記スイッチング装置を制御可能に構成された制御部と、 を備えるレーザシステム。

IPC (4件)：

H01S 3/098 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/139 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H01S3/098 ,  H01S3/00 A ,  H01S3/139 ,  H01L21/30 531S

Fターム (22件)：

5F146GA03 ,  5F146GA21 ,  5F146GA28 ,  5F146GC12 ,  5F172AD05 ,  5F172AE03 ,  5F172AE09 ,  5F172AE12 ,  5F172AF02 ,  5F172AF06 ,  5F172DD03 ,  5F172EE22 ,  5F172NN14 ,  5F172NN27 ,  5F172NQ09 ,  5F172NQ53 ,  5F172NR04 ,  5F172NR13 ,  5F172NR24 ,  5F172NR28 ,  5F172ZA04 ,  5F172ZZ14