特許

J-GLOBAL ID：201603012996915653

高周波電源装置及びその制御方法

発明者： 福本 佳樹 ,  鶴田 義範 ,  森井 龍哉 ,  深野 勝之
出願人/特許権者： 株式会社ダイヘン
代理人 (3件)： 菊池 新一 ,  菊池 徹 ,  松本 英俊
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-216653
公開番号（公開出願番号）：特開2014-072659
特許番号：特許第5963632号
出願日： 2012年09月28日
公開日（公表日）： 2014年04月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 電圧波形の包絡線の波形(以下包絡線波形という。)が、ステップ状のレベル変化を示すレベル変化タイミングを1周期の間に複数有し、隣り合うレベル変化タイミングの間の期間が一定のレベルを保持するインターバル期間となっているステップ波形を呈するように変調された高周波電力を出力する高周波電源装置を制御する方法であって、 前記包絡線波形のレベルを検出するレベル検出部を設けておき、 前記高周波電源装置から出力させる高周波電力の電圧波形の包絡線波形がその1周期の間に有する各インターバル期間でとるべきレベルの設定値を各インターバル期間の設定目標レベルとして設定目標レベル記憶部に記憶させておき、 前記包絡線波形の各周期の各インターバル期間をその開始直後に設定された過渡期間と該過渡期間が経過した後の安定期間とに分け、 電圧波形の包絡線波形が各周期の各インターバル期間でとるべきレベルを前記設定目標レベルとした高周波電力を前記高周波電源装置から最初に出力させる際の前記包絡線波形の最初の周期を第1番目の周期として、前記包絡線波形の前記第1番目の周期から第m-1番目の周期(mは2以上の整数からなる設定値)までの各周期においては、第1番目の周期から現在の周期までのそれぞれの周期の対応する各インターバル期間の安定期間で前記レベル検出部が検出したレベルを平均したレベルを各インターバル期間の平均検出レベルとして演算し、前記包絡線波形の第m番目の周期以降の各周期においては、m-1個前の周期から現在の周期までのそれぞれの周期の対応する各インターバル期間の安定期間でレベル検出部が検出したm個のレベルを平均したレベルを各インターバル期間の平均検出レベルとして演算して、演算した各インターバル期間の平均検出レベルを、該平均検出レベルを演算した周期の次の周期の対応するインターバル期間で包絡線波形がとるべき目標レベルとして次周期目標レベル記憶部に記憶しておき、 前記包絡線波形の前記第1番目の周期の各インターバル期間では、前記過渡期間が経過するまでの間、前記レベル検出部が検出するレベルを前記設定目標レベル記憶部に記憶された対応する設定目標レベルに等しくする制御をオープンループ制御により行なった後、前記安定期間の間、前記レベル検出部が検出するレベルを前記設定目標レベル記憶部に記憶された対応する設定目標レベルに保つ制御をフィードバック制御により行ない、 前記包絡線波形の第2番目の周期以降の各周期の各インターバル期間では、前記過渡期間が経過するまでの間前記レベル検出部が検出するレベルを前記次周期目標レベル記憶部に記憶された対応する目標レベルに等しくする制御をオープンループ制御により行なった後、前記安定期間の間、前記レベル検出部が検出するレベルを前記次周期目標レベル記憶部に記憶された対応する目標レベルに保つ制御をフィードバック制御により行なうこと、 を特徴とする高周波電源装置の制御方法。

IPC (2件)：

H03K 4/02 ( 200 6.01) ,  H03K 5/003 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H03K 4/02 Z ,  H03K 5/00 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

• パルス化インテリジェントRF変調コントローラ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-039884   出願人：イーエヌアイテクノロジィーズインコーポレイテッド
• 高周波パルス出力回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-238586   出願人：島田理化工業株式会社
• 高周波電源装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-113212   出願人：新電元工業株式会社
• 高周波電源装置及びその制御方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-132570   出願人：株式会社ダイヘン