特許
J-GLOBAL ID：201603013036208940
ワーク剥離装置および剥離方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
鷲頭 光宏
, 緒方 和文
, 黒瀬 泰之
, 三谷 拓也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-069120
公開番号（公開出願番号）：特開2013-201313
特許番号：特許第5990969号
出願日： 2012年03月26日
公開日（公表日）： 2013年10月03日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 熱発泡シートを介して互いに貼り合わされた第1及び第2の基板を含むワークを熱処理して前記第1の基板から前記第2の基板を剥離するワーク剥離装置であって、
前記ワークを吸着保持する吸着プレートと、
前記ワークを加熱する加熱手段及び前記ワークを吸着する吸着手段を有する加熱テーブルとを備え、
前記吸着プレートは、
前記ワークの前記第1の基板側の第1の主面を吸着保持して前記加熱テーブル上に搬送し、前記吸着プレートの吸着面を接触させたまま前記ワークを前記加熱テーブル上に載置して、前記ワークの前記第2の基板側の第2の主面を加熱し、
前記加熱テーブル上で加熱されることで前記熱発泡シートの粘着力が低下又は消滅し、かつ前記加熱テーブル側からも吸着された前記ワークを吸着保持して持ち上げて、前記ワークから前記第2の基板を剥離することを特徴とするワーク剥離装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
前のページに戻る
