特許
J-GLOBAL ID：201603013065481737
放射線ビームモニタ装置
出願人/特許権者：
三菱電機株式会社
三菱電機株式会社 について
代理人 (4件)： 大岩 増雄 , 竹中 岑生 , 村上 啓吾 , 吉澤 憲治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-046088
公開番号（公開出願番号）：特開2013-181849
特許番号：特許第5924981号
出願日： 2012年03月02日
公開日（公表日）： 2013年09月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 放射線の入射側に窓が設けられている金属製の筺体と、
前記窓を前記筺体の外側から覆う高分子窓膜と、
前記窓の周囲を前記筺体の内側から囲むシール部材と、
前記窓を前記筺体の内側から覆い、前記シール部材を介して前記筺体に固定されている金属製の窓膜と、
前記窓膜に対向配置され接地電位に設定されている第1のシールド膜と、
前記第1のシールド膜よりも前記放射線の下流側に配置され電圧が印加される第1の金属膜と、
前記第1の金属膜よりも前記放射線の下流側に配置され電圧が印加される第2の金属膜と、
前記第1の金属膜と前記第2の金属膜の間に配置され、計測器に接続される信号電極と、前記第2の金属膜よりも前記放射線の下流側に配置され接地電位に設定されている第2のシールド膜と、を備えている放射線ビームモニタ装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
引用特許：
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