ロードポート装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：岡部讓 , 臼井伸一 , 越智隆夫 , 吉澤弘司 , 齋藤正巳
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-181538
公開番号（公開出願番号）：特開2014-038977
特許番号：特許第5920626号
出願日： 2012年08月20日
公開日（公表日）： 2014年02月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】開口部を除いて微小空間の一面を閉鎖して外部空間と分離し、前記外部空間に配置されて収容物を収容したポッドの蓋を開閉して前記ポッドの内部空間と前記微小空間とを連通させるロードポート装置であって、前記開口部を閉鎖可能なドアと、前記ポッドを前記開口部と正対させて載置可能な載置テーブルと、前記微小空間の一面における下方の一部を閉鎖可能な下部閉鎖部材とを有する下部構造体と、前記開口部を有して前記微小空間の一面における他の部分を閉鎖可能な上部閉鎖部材を有する上部構造体と、を有し前記上部構造体は前記下部構造体に対して、位置決めされて分離可能に固定されることを特徴とするロードポート装置。

IPC (1件)：