特許

J-GLOBAL ID：201603013201611275

圧電アクチュエータおよびこれを備えたマスフローコントローラ

発明者： 岩下 晃 ,  瀬戸口 剛
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013076358
公開番号（公開出願番号）：WO2014-051087
出願日： 2013年09月27日
公開日（公表日）： 2014年04月03日
要約：

【課題】 引張り応力による溝のつけ根部の疲労破壊を抑制することのできる圧電アクチュエータおよびこれを備えたマスフローコントローラを提供する。 【解決手段】 本発明の圧電アクチュエータは、圧電素子1と、圧電素子1の下端部に上面が当接された基体2と、圧電素子1を内部に収容し、圧電素子1の上端部に内面が当接されたケース3とを備え、基体2の上面とケース3とが接合された圧電アクチュエータであって、ケース3は、複数の周方向の溝311が設けられた筒状部31を含み、複数の周方向の溝311のうちの少なくとも一つの周方向の溝311において、底30に位置する筒状部31の厚みが底30以外の他の部位の筒状部31の厚みよりも薄くなっている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

圧電素子と、該圧電素子の下端部に上面が当接された基体と、前記圧電素子を内部に収容し、前記圧電素子の上端部に内面が当接されたケースとを備え、前記基体の上面と前記ケースとが接合された圧電アクチュエータであって、前記ケースは、複数の周方向の溝が設けられた筒状部を含み、前記複数の周方向の溝のうちの少なくとも一つの周方向の溝において、底に位置する前記筒状部の厚みが底以外の他の部位の前記筒状部の厚みよりも薄くなっていることを特徴とする圧電アクチュエータ。

IPC (4件)：

H01L 41/053 ,  H01L 41/083 ,  H01L 41/09 ,  H02N 2/00

FI (4件)：

H01L41/053 ,  H01L41/083 ,  H01L41/09 ,  H02N2/00 B

Fターム (7件)：

5H681AA12 ,  5H681BB13 ,  5H681DD39 ,  5H681DD82 ,  5H681DD95 ,  5H681GG02 ,  5H681GG27