特許
J-GLOBAL ID：201603013306501572

加工装置

発明者：
赤瀬 勝彦

赤瀬 勝彦 について

, 
寺師 健太郎

寺師 健太郎 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-035688
公開番号（公開出願番号）：特開2016-157870
出願日： 2015年02月25日
公開日（公表日）： 2016年09月01日
要約：
【課題】アライメントの装置構成を簡略化した加工装置を提供する。【解決手段】1つの光学系71及び撮像手段72を用いて撮像した画像を処理して低倍率画像P1及び高倍率画像P2を取得するものである。これにより、低倍率画像P1及び高倍率画像P2を取得する際に、高倍率用と低倍率用に光学系71及び撮像手段72を2つずつ配設する必要がないので、光学系71及び撮像手段72のコストを削減できると共に、光学系71及び撮像手段72のメンテナンス工数を減らすことができる。さらに、低倍率画像P1及び高倍率画像P2を取得する際に、光学系71を位置付ける軸動作を1回で済ませることができ、軸動作を低減することができる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物を撮像して加工すべき領域を検出するアライメント手段と、を備える加工装置であって、 該アライメント手段は、 光学像を取得する光学系と、 該光学系が取得した光学像を撮像する撮像手段と、 該撮像手段で撮像した画像を処理し、低倍率画像と高倍率画像を取得する画像処理手段と、 処理後の画像を表示する表示手段と、を備え、 該画像処理手段は、 該低倍率画像から所定の領域を拡大処理し、該高倍率画像を取得することを特徴とする加工装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B23Q 17/24 ,  B23Q 17/00
FI (3件)：
H01L21/68 F ,  B23Q17/24 C ,  B23Q17/00 D
Fターム (44件)：
3C029AA04 ,  3C029AA40 ,  3C029FF05 ,  5F063AA21 ,  5F063AA29 ,  5F063AA43 ,  5F063BA25 ,  5F063BA27 ,  5F063BA33 ,  5F063BA34 ,  5F063BA48 ,  5F063DD01 ,  5F063DE01 ,  5F063DE33 ,  5F063FF04 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA21 ,  5F131AA22 ,  5F131BA31 ,  5F131CA32 ,  5F131CA37 ,  5F131CA45 ,  5F131DA13 ,  5F131DA33 ,  5F131EA05 ,  5F131EA12 ,  5F131EA14 ,  5F131EA22 ,  5F131EA24 ,  5F131EB03 ,  5F131EB32 ,  5F131FA17 ,  5F131FA32 ,  5F131FA33 ,  5F131HA42 ,  5F131HA44 ,  5F131KA14 ,  5F131KA42 ,  5F131KB07 ,  5F131KB08 ,  5F131KB12 ,  5F131KB54 ,  5F131KB55
引用特許：
審査官引用 (5件)
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