ネジ溝式真空ポンプ及びこれを使用した真空排気システム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：林孝吉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-523853
特許番号：特許第5989645号
出願日： 2012年05月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】吸気口と排気口とを有するケーシングを備え、該ケーシング内に、軸受と回転駆動機構とにより一軸上に回転可能に支持されたロータ軸と、該ロータ軸に鍔状をした支持板部を介して接合されて該ロータ軸と一体回転可能に同心配置された少なくとも1個の回転円筒部で構成されるロータ部材と、該回転円筒部の外側面及び/もしくは内側面に所定のギャップを隔てて対向設置された少なくとも2個のステータ部材を設けてなるとともに、前記回転円筒部と前記ステータ部材の互いに対向する側面の一方には前記ロータ軸の回転に伴って前記吸気口から前記排気口に気体分子を移送するネジ溝を形成し、前記支持板部には前記吸気口もしくは前記排気口と前記ネジ溝とを連通させるための連通口を有するネジ溝式排気機構を前記ロータ軸上の軸方向に所定の間隔をあけて少なくとも2個設置し、かつ、前記吸気口もしくは前記排気口のいずれか一方は、前記ネジ溝式排気機構同士の間に設置され、前記ロータ軸が運転中に該ロータ軸と前記軸受との間に発生し得る変位によりコニカル運動をするときの変位中心と前記ロータ部材の軸方向センタ位置をほぼ一致させてなることを特徴とするネジ溝式真空ポンプ。

IPC (1件)：

F04D 19/04 ( 200 6.01)

FI (1件)：

F04D 19/04 D

引用特許：

出願人引用 (6件)

真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-167818 出願人：プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
気体分離装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-201356 出願人：日本原子力研究所, 三菱重工業株式会社
特開昭63-147990

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審査官引用 (6件)

真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-167818 出願人：プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
気体分離装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-201356 出願人：日本原子力研究所, 三菱重工業株式会社
特開昭63-147990

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