特許
J-GLOBAL ID:201603013435399881

紫外線ビームを発生するランプユニットの動作方法並びにそれに適したランプユニット

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  久野 琢也
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-536035
特許番号:特許第6022069号
出願日: 2013年09月12日
請求項(抜粋):
【請求項1】 紫外線ビームを発生するランプユニットの動作方法であって、 水銀の付着に使用される放電空間を有するガス放電ランプと、 電子安定器と、 前記ガス放電ランプの温度調整のために制御ユニットを介して調整が可能な温度調整素子とを備え、 前記ガス放電ランプは、ランプ電流とランプ電圧とを用いて動作され、 前記ガス放電ランプにおける動作フェーズ中に一定のランプ電流が供給され、 前記温度調整素子は、前記ガス放電ランプを冷却するための冷却要素であり、 前記方法は、 (a)前記ランプ電圧の実際値を、電圧センサを用いて求めるステップと、 (b)前記ランプ電圧の実際値を、前記制御ユニットに伝送するステップと、 (c)前記ランプ電圧の実際値を、前記制御ユニットによって、目標値と比較するステップと、 (d)前記冷却要素に、前記制御ユニットによって、冷却能力を調整するための制御信号を出力するステップとを含んでいる方法において、 前記ガス放電ランプが、前記ランプユニットの動作中に、冷却ユニットから連続的に冷却されるようにし、 前記ランプ電圧の目標値は、各ガス放電ランプ毎に個別に定められ、個別に定められた前記目標値は、ガス放電ランプに接続された記憶素子に記憶され、前記記憶素子は、ガス放電ランプのスイッチオンの際に制御ユニットによって読み出される、 ことを特徴とする方法。
IPC (3件):
H01J 61/52 ( 200 6.01) ,  H01J 61/56 ( 200 6.01) ,  H05B 41/24 ( 200 6.01)
FI (3件):
H01J 61/52 L ,  H01J 61/56 L ,  H05B 41/24
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平1-122558
  • 特開昭59-181492

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