特許
J-GLOBAL ID:201603013877906537

有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 特許業務法人磯野国際特許商標事務所 ,  磯野 道造 ,  奈良 泰男 ,  伊藤 直樹
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-270327
公開番号(公開出願番号):特開2014-116224
特許番号:特許第6036249号
出願日: 2012年12月11日
公開日(公表日): 2014年06月26日
請求項(抜粋):
【請求項1】 回転方向に凸部が形成され、前記凸部に可撓性の帯状基材が接触した状態で前記帯状基材を搬送可能な段付ロールを含む複数の搬送ロールを備える製造装置において行われる有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、 真空下、前記帯状基材に対して前記帯状基材の搬送方向に第1張力を付与し、少なくとも前記段付ロールに前記帯状基材を接触させながら搬送させ、前記第1張力が付与された状態で、所定位置まで前記帯状基材の搬送を行う基材搬送工程と、 前記所定位置まで前記帯状基材の搬送が行われ、前記帯状基材の搬送が停止された後、前記帯状基材の搬送を停止させた状態で、前記帯状基材に対して付与する張力を、前記第1張力の1.5倍以上2.5倍以下の大きさの第2張力に変化させる張力上昇工程と、 前記帯状基材の搬送を停止させ、かつ、前記第1張力とは異なる大きさの前記第2張力が前記帯状基材に付与された状態で、前記帯状基材に対して処理を行う基材処理工程と、を含むことを特徴とする、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
IPC (3件):
H05B 33/10 ( 200 6.01) ,  H01L 51/50 ( 200 6.01) ,  C23C 14/34 ( 200 6.01)
FI (3件):
H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A ,  C23C 14/34
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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