特許
J-GLOBAL ID:201603014074683365
磁気記録媒体に適した磁性膜及びその製造方法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
小越 勇
, 小越 一輝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-041146
公開番号(公開出願番号):特開2016-194147
出願日: 2016年03月03日
公開日(公表日): 2016年11月17日
要約:
【課題】スパッタリングで形成した磁性薄膜であって、L10規則構造を発現するための熱処理温度を低下させる方法の提供。【解決手段】Fe及びPtを含む磁性金属と非磁性材料とからなる膜であって、さらにMgを含有し、原子数比で(Fe1-αPtα)1-βMgβ(α、βは、0.35≦α≦0.55、0.01≦β≦0.2を満たす数)で表される組成を有する磁性膜。【選択図】なし
請求項(抜粋):
Fe及びPtを含む磁性金属と非磁性材料とからなる磁性膜であって、さらにMgを含有し、原子数比で(Fe1-αPtα)1-βMgβ(α、βは、0.35≦α≦0.55、0.01≦β≦0.2を満たす数)で表される組成を有することを特徴とする磁性膜。
IPC (9件):
C23C 14/14
, C23C 14/58
, C23C 14/06
, G11B 5/64
, G11B 5/65
, G11B 5/851
, H01F 10/14
, H01F 41/18
, C22C 5/04
FI (10件):
C23C14/14 F
, C23C14/58 D
, C23C14/06 T
, C23C14/06 L
, G11B5/64
, G11B5/65
, G11B5/851
, H01F10/14
, H01F41/18
, C22C5/04
Fターム (36件):
4K029AA06
, 4K029AA24
, 4K029BA22
, 4K029BA26
, 4K029BA43
, 4K029BA55
, 4K029BA58
, 4K029BB07
, 4K029BC06
, 4K029BD11
, 4K029CA05
, 4K029DC04
, 4K029DC05
, 4K029DC09
, 4K029DC16
, 4K029DC39
, 4K029GA01
, 5D006BB01
, 5D006BB06
, 5D006BB07
, 5D006DA03
, 5D006DA08
, 5D006EA03
, 5D006FA09
, 5D112AA05
, 5D112AA24
, 5D112FA04
, 5D112FB02
, 5D112FB14
, 5D112GB01
, 5E049AA01
, 5E049AB09
, 5E049BA08
, 5E049DB04
, 5E049EB06
, 5E049GC01
引用特許: