特許

J-GLOBAL ID：201603014706767292

ウエハ加工体、ウエハ加工用部材、ウエハ加工用仮接着材、及び薄型ウエハの製造方法

発明者： 近藤 和紀 ,  加藤 英人 ,  菅生 道博 ,  田上 昭平 ,  安田 浩之
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-155492
公開番号（公開出願番号）：特開2014-096563
特許番号：特許第5975528号
出願日： 2013年07月26日
公開日（公表日）： 2014年05月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 支持体上に仮接着材層が形成され、かつ該仮接着材層上に、表面に回路面を有し、裏面を加工すべきウエハが積層されてなるウエハ加工体であって、 前記仮接着材層が、前記ウエハの表面に剥離可能に接着された熱可塑性オルガノポリシロキサン重合体層(A)からなる第一仮接着層と、該第一仮接着層に積層された放射線硬化性重合体層(B)からなる第二仮接着層と、該第二仮接着層に積層され、前記支持体に剥離可能に接着された熱可塑性オルガノポリシロキサン重合体層(A’)からなる第三仮接着層との3層構造を有する複合仮接着材層を備えたものであることを特徴とするウエハ加工体。

IPC (5件)：

H01L 21/304 ( 200 6.01) ,  H01L 21/683 ( 200 6.01) ,  C09J 183/04 ( 200 6.01) ,  C09J 5/00 ( 200 6.01) ,  C09J 183/08 ( 200 6.01)

FI (5件)：

H01L 21/304 622 J ,  H01L 21/68 N ,  C09J 183/04 ,  C09J 5/00 ,  C09J 183/08