特許
J-GLOBAL ID：201603014719564919

研磨装置および研磨方法

発明者：
高橋 太郎

高橋 太郎 について


出願人/特許権者：
株式会社荏原製作所

株式会社荏原製作所 について


代理人 (2件)： 渡邉 勇 ,  廣澤 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-168088
公開番号（公開出願番号）：特開2016-087780
出願日： 2015年08月27日
公開日（公表日）： 2016年05月23日
要約：
【課題】基板の表面に近い所望の測定点での温度を正確に測定しながら、該基板を研磨することができる研磨装置を提供する。【解決手段】研磨装置は、研磨パッド2を支持する研磨テーブル3と、研磨テーブル3を回転させるテーブルモータ6と、基板Wの表面を研磨パッド2の研磨面2aに押し付ける研磨ヘッド1と、研磨パッド2の研磨面2aに研磨液を供給する研磨液供給ノズル5と、研磨テーブル3に配置された温度センサ7とを備える。温度センサ7は、研磨テーブル3が一回転するたびに基板Wの表面を横切る位置に配置されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板が研磨される研磨面を有する研磨パッドと、 前記研磨パッドを支持する研磨テーブルと、 前記研磨テーブルを回転させるテーブルモータと、 前記基板の表面を前記研磨パッドの前記研磨面に押し付ける研磨ヘッドと、 前記研磨パッドの前記研磨面に研磨液を供給する研磨液供給ノズルと、 前記研磨テーブルに配置された温度センサとを備え、 前記温度センサは、前記研磨テーブルが一回転するたびに前記基板の表面を横切る位置に配置されていることを特徴とする研磨装置。
IPC (3件)：
B24B 37/015 ,  B24B 37/013 ,  H01L 21/304
FI (3件)：
B24B37/00 J ,  B24B37/04 K ,  H01L21/304 622S
Fターム (21件)：
3C158AA07 ,  3C158AA09 ,  3C158AB01 ,  3C158AC02 ,  3C158AC04 ,  3C158BA08 ,  3C158BB02 ,  3C158BC02 ,  3C158CB01 ,  3C158DA12 ,  3C158DA17 ,  3C158EA13 ,  3C158EB01 ,  3C158EB05 ,  5F057AA20 ,  5F057BA11 ,  5F057CA11 ,  5F057DA03 ,  5F057GA12 ,  5F057GB03 ,  5F057GB40
引用特許：
審査官引用 (6件)
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