特許
J-GLOBAL ID：201603014731565343
圧力センサチップ
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山川 政樹
, 山川 茂樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-263688
公開番号（公開出願番号）：特開2014-109483
特許番号：特許第5997594号
出願日： 2012年11月30日
公開日（公表日）： 2014年06月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムと、前記センサダイアフラムの一方の面にその周縁面を対面させて接合されると共に、その周縁面に囲まれた中央部に第1の凹部を有する第1の保持部材と、前記センサダイアフラムの他方の面にその周縁面を対面させて接合されると共に、その周縁面に囲まれた中央部に第2の凹部を有する第2の保持部材とを備えた圧力センサチップにおいて、
前記第1の保持部材は、
前記第1の凹部の中央部に開口する第1の導圧路と、
前記第1の凹部の周縁部の一部に開口する第1の微小隙間と、
前記第1の微小隙間に連通する第2の導圧路とを有し、
前記第2の保持部材は、
前記第2の凹部の中央部に開口する第3の導圧路と、
前記第2の凹部の周縁部の一部に開口する第2の微小隙間と、
前記第2の微小隙間に連通する第4の導圧路とを有し、
前記第1の凹部は、
前記センサダイアフラムの一方の面との間の距離が前記第1の導圧路が開口する中央部から前記第2の導圧路が開口する周縁部に行くにしたがって徐々に狭くなるような形状とされ、
前記第2の凹部は、
前記センサダイアフラムの他方の面との間の距離が前記第3の導圧路が開口する中央部から前記第4の導圧路が開口する周縁部に行くにしたがって徐々に狭くなるような形状とされ、
前記第1の導圧路を入口側、前記第2の導圧路を出口側として、前記センサダイアフラムの一方の面に第1の流体圧力を導く第1の圧力伝達媒体が前記第1の凹部に充填され、
前記第3の導圧路を入口側、前記第4の導圧路を出口側として、前記センサダイアフラムの他方の面に第2の流体圧力を導く第2の圧力伝達媒体が前記第2の凹部に充填されている
ことを特徴とする圧力センサチップ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
前のページに戻る
