特許
J-GLOBAL ID：201603014845404323

半導体装置及び該半導体装置を含む電子機器

発明者：
田中 哲弘

田中 哲弘 について

, 
櫻田 勇二郎

櫻田 勇二郎 について

, 
岡崎 豊

岡崎 豊 について


出願人/特許権者：
株式会社半導体エネルギー研究所

株式会社半導体エネルギー研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-075589
公開番号（公開出願番号）：特開2016-001722
出願日： 2015年04月02日
公開日（公表日）： 2016年01月07日
要約：
【課題】半導体装置に良好な電気特性を付与する。または、オン電流の高い半導体装置を提供する。または、微細化に適した半導体装置を提供する。【解決手段】酸化物半導体膜と、ソース電極と、ドレイン電極と、ゲート絶縁膜と、ゲート電極と、絶縁膜と、を有する半導体装置であって、ソース電極は、酸化物半導体膜と接する領域を有し、ドレイン電極は、酸化物半導体膜と接する領域を有し、ゲート絶縁膜は、酸化物半導体膜と、ゲート電極との間に設けられ、絶縁膜は、ゲート電極上と、ゲート絶縁膜上と、に設けられ、絶縁膜は、第1の部分と、第2の部分と、を有し、第1の部分は、段差状になっている部分を有し、第2の部分は、段差状になっていない部分を有し、第1の部分は、第1の膜厚である部分を有し、第2の部分は、第2の膜厚である部分を有し、第2の膜厚は、第1の膜厚の1.0倍以上2.0倍以下である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
酸化物半導体膜と、ソース電極と、ドレイン電極と、ゲート絶縁膜と、ゲート電極と、絶縁膜と、を有する半導体装置であって、 前記ソース電極は、前記酸化物半導体膜と接する領域を有し、 前記ドレイン電極は、前記酸化物半導体膜と接する領域を有し、 前記ゲート絶縁膜は、前記酸化物半導体膜と、前記ゲート電極との間に設けられ、 前記絶縁膜は、前記ゲート電極上と、前記ゲート絶縁膜上と、に設けられ、 前記絶縁膜は、第1の部分と、第2の部分と、を有し、 前記第1の部分は、段差状になっている部分を有し、 前記第2の部分は、段差状になっていない部分を有し、 前記第1の部分は、第1の膜厚である部分を有し、 前記第2の部分は、第2の膜厚である部分を有し、 前記第2の膜厚は、前記第1の膜厚の1.0倍以上2.0倍以下であることを特徴とする半導体装置。
IPC (19件)：
H01L 21/336 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/477 ,  H01L 21/823 ,  H01L 27/092 ,  H01L 27/088 ,  H01L 21/28 ,  H01L 29/417 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/108 ,  H01L 27/115 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792 ,  H01L 27/105 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/318 ,  H01L 51/50
FI (18件)：
H01L29/78 619A ,  H01L29/78 618B ,  H01L21/477 ,  H01L27/08 321G ,  H01L27/08 102E ,  H01L21/28 301B ,  H01L29/50 M ,  H01L29/58 G ,  H01L27/10 321 ,  H01L27/10 671C ,  H01L27/10 671Z ,  H01L27/10 615 ,  H01L27/10 434 ,  H01L29/78 371 ,  H01L27/10 441 ,  H01L21/316 X ,  H01L21/318 C ,  H05B33/14 A
Fターム (293件)：
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC11 ,  3K107CC14 ,  3K107CC21 ,  3K107EE04 ,  4M104AA01 ,  4M104AA02 ,  4M104AA03 ,  4M104AA04 ,  4M104AA05 ,  4M104AA08 ,  4M104AA09 ,  4M104AA10 ,  4M104BB02 ,  4M104BB03 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB08 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB30 ,  4M104BB31 ,  4M104BB32 ,  4M104BB33 ,  4M104BB36 ,  4M104BB39 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD02 ,  4M104DD16 ,  4M104DD17 ,  4M104DD18 ,  4M104DD19 ,  4M104DD20 ,  4M104DD34 ,  4M104DD35 ,  4M104DD37 ,  4M104DD40 ,  4M104DD43 ,  4M104DD65 ,  4M104DD91 ,  4M104EE05 ,  4M104EE16 ,  4M104FF01 ,  4M104FF02 ,  4M104FF03 ,  4M104FF04 ,  4M104FF06 ,  4M104FF09 ,  4M104FF21 ,  4M104FF26 ,  4M104FF27 ,  4M104FF31 ,  4M104GG04 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104GG16 ,  4M104HH04 ,  4M104HH10 ,  4M104HH11 ,  4M104HH13 ,  4M104HH14 ,  5F048AB03 ,  5F048AB04 ,  5F048AC01 ,  5F048AC04 ,  5F048BA01 ,  5F048BA14 ,  5F048BA16 ,  5F048BA19 ,  5F048BA20 ,  5F048BB03 ,  5F048BC18 ,  5F048BD06 ,  5F048BD10 ,  5F048BF11 ,  5F048BF15 ,  5F048BF16 ,  5F048BG06 ,  5F048BG11 ,  5F048CB01 ,  5F048CB03 ,  5F048CB04 ,  5F058BA07 ,  5F058BA20 ,  5F058BB01 ,  5F058BB06 ,  5F058BB07 ,  5F058BC03 ,  5F058BC04 ,  5F058BC09 ,  5F058BC10 ,  5F058BC11 ,  5F058BF02 ,  5F058BF07 ,  5F058BF12 ,  5F058BF23 ,  5F058BF27 ,  5F058BF29 ,  5F058BF30 ,  5F058BJ04 ,  5F083AD02 ,  5F083AD03 ,  5F083AD14 ,  5F083AD69 ,  5F083EP22 ,  5F083EP75 ,  5F083GA01 ,  5F083GA05 ,  5F083GA06 ,  5F083GA09 ,  5F083GA10 ,  5F083GA15 ,  5F083GA21 ,  5F083GA25 ,  5F083GA27 ,  5F083HA02 ,  5F083HA06 ,  5F083HA08 ,  5F083JA02 ,  5F083JA05 ,  5F083JA12 ,  5F083JA19 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA42 ,  5F083JA44 ,  5F083MA06 ,  5F083MA16 ,  5F083MA18 ,  5F083MA19 ,  5F083NA01 ,  5F083PR03 ,  5F083PR07 ,  5F083PR12 ,  5F083PR21 ,  5F083PR22 ,  5F083PR29 ,  5F083PR33 ,  5F083PR34 ,  5F083PR36 ,  5F083PR40 ,  5F083ZA13 ,  5F083ZA14 ,  5F083ZA20 ,  5F101BA17 ,  5F101BB17 ,  5F101BD13 ,  5F101BD30 ,  5F101BD33 ,  5F101BD35 ,  5F101BD39 ,  5F101BD40 ,  5F101BE02 ,  5F101BE05 ,  5F101BF01 ,  5F101BF02 ,  5F101BF03 ,  5F101BF08 ,  5F101BF09 ,  5F101BG08 ,  5F101BG09 ,  5F101BH02 ,  5F101BH03 ,  5F101BH09 ,  5F101BH14 ,  5F101BH16 ,  5F101BH26 ,  5F110AA04 ,  5F110AA06 ,  5F110AA07 ,  5F110AA08 ,  5F110AA14 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110BB06 ,  5F110BB11 ,  5F110BB20 ,  5F110CC01 ,  5F110CC05 ,  5F110CC10 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD03 ,  5F110DD04 ,  5F110DD05 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110DD21 ,  5F110DD25 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110EE07 ,  5F110EE14 ,  5F110EE15 ,  5F110EE22 ,  5F110EE42 ,  5F110EE43 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF05 ,  5F110FF09 ,  5F110FF27 ,  5F110FF28 ,  5F110FF29 ,  5F110FF30 ,  5F110GG01 ,  5F110GG06 ,  5F110GG07 ,  5F110GG13 ,  5F110GG14 ,  5F110GG15 ,  5F110GG16 ,  5F110GG17 ,  5F110GG19 ,  5F110GG22 ,  5F110GG24 ,  5F110GG25 ,  5F110GG28 ,  5F110GG29 ,  5F110GG33 ,  5F110GG34 ,  5F110GG35 ,  5F110GG42 ,  5F110GG43 ,  5F110GG44 ,  5F110GG58 ,  5F110HJ02 ,  5F110HJ12 ,  5F110HJ13 ,  5F110HJ30 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK07 ,  5F110HK21 ,  5F110HK22 ,  5F110HK32 ,  5F110HK33 ,  5F110HK34 ,  5F110HK35 ,  5F110HL01 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110HL07 ,  5F110HL11 ,  5F110HL12 ,  5F110HL22 ,  5F110HL23 ,  5F110HL24 ,  5F110HM02 ,  5F110HM14 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN05 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN25 ,  5F110NN27 ,  5F110NN28 ,  5F110NN33 ,  5F110NN34 ,  5F110NN35 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110NN77 ,  5F110NN78 ,  5F110QQ02 ,  5F110QQ03 ,  5F110QQ09 ,  5F110QQ11
引用特許：
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM