コンタクトプローブ及びプローブカード

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：工藤宣幸 , 若林裕介 , 吉田倫太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-178393
公開番号（公開出願番号）：特開2014-035335
特許番号：特許第5968158号
出願日： 2012年08月10日
公開日（公表日）： 2014年02月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】テスタ側のプローブカード基板に支持されて被試験回路の電極パッドへ延出され、上記テスタ側と上記被試験回路の電極パッドとを電気的に接続するコンタクトプローブであって、基端部に位置して上記テスタ側のプローブカード基板に取り付けられる取付部と、先端部に位置して上記被試験回路の電極パッドに接触される接触部と、これらの間に位置して上記接触部を弾性的に支持するアーム部とを備え、上記接触部は、上記アーム部の先端部に一体的に取り付けられた台座部の下端部に設けられ、上記アーム部は、上記台座部を支持して当該台座部の上下動を許容する一側アーム片と、上記台座部を支持して当該台座部の傾斜角度を、上記接触部のスクラブ量を小さくするように調整する他側アーム片とを備え、上記他側アーム片は、先端部側から延びる先端側湾曲アーム片と、基端部側から延びる基端側湾曲アーム片と、上記先端側湾曲アーム片と上記基端側湾曲アーム片とが互いに接続して形成された環状の膨出部とから構成されたことを特徴とするコンタクトプローブ。

IPC (3件)：

G01R 1/067 ( 200 6.01) , G01R 31/26 ( 201 4.01) , H01L 21/66 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G01R 1/067 A , G01R 31/26 J , H01L 21/66 B

引用特許：

出願人引用 (5件)

通電検査用プローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-113374 出願人：日本航空電子工業株式会社
プローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-153508 出願人：日本電子材料株式会社
コンタクトプローブ用固定具
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-129583 出願人：日置電機株式会社

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審査官引用 (2件)

通電検査用プローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-113374 出願人：日本航空電子工業株式会社
プローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-153508 出願人：日本電子材料株式会社

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