特許

J-GLOBAL ID：201603015059828280

ナノインデンテーション器具用測定ヘッド及び測定方法

発明者： ベラトン、ベルトラン ,  コンシグリオ、リヒャルト ,  ヴォアルガール、ジャック
出願人/特許権者： アントン パール トライテック ソシエテ アノニム
代理人 (1件)： 特許業務法人浅村特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-518529
公開番号（公開出願番号）：特表2016-521853
出願日： 2014年06月16日
公開日（公表日）： 2016年07月25日
要約：

ナノインデンテーション器具用の測定ヘッドが提供される。ナノインデンテーション器具は、測定ヘッドに対して試料を位置付けるように配置された位置付けシステムを備える。測定ヘッドは、ナノインデンテーション器具に接続するように適合されたフレーム1に取り付けられた測定サブシステム2を備え、測定サブシステム2は、第1のアクチュエータ20と、第1のアクチュエータ20によって圧子26に対して加えられる力の加圧下で、試料表面に圧痕付けするように適合された圧子26とを備える。測定サブシステム2は、第1のアクチュエータ20によって加えられた力を検出するように適合された力検知システムをさらに含む。また、測定ヘッドは、フレームに取り付けられた参照サブシステム3を備え、参照サブシステム3は、第2のアクチュエータ30と、第2のアクチュエータ30と動作可能に接続されている参照構造体33と、参照構造体33と試料表面との所定の間隔を決定するように適合された距離検出器とを備える。本発明によれば、測定ヘッドは、圧子26と参照構造体との相対位置を決定するように適合された相対位置検知システムを備え、測定ヘッドは、相対位置決定センサの出力に少なくとも部分的に基づき、試料表面への圧子26の押し込み深さを決定するための手段をさらに備え、そして距離検出器は、参照構造体3から突き出て、試料表面に接触するように配置されたトポグラフィ先端具36を備える。

請求項（抜粋）：

ナノインデンテーション器具用の測定ヘッドであって、 前記ナノインデンテーション器具は、前記測定ヘッドに対して試料を位置付けるように配置された位置付けシステムを備え、 前記測定ヘッドは、 前記ナノインデンテーション器具に接続するように適合されたフレーム(1)に取り付けられた測定サブシステム(2)であって、該測定サブシステム(2)は、第1のアクチュエータ(20)、及び前記第1のアクチュエータ(20)によって圧子(26)に対して加えられる力の加圧下で前記試料の表面に圧痕付けするように適合された前記圧子(26)を含み、前記測定サブシステム(2)は、前記第1のアクチュエータ(20)によって加えられた力を検出するように適合された力検知システムをさらに備える、前記測定サブシステム(2)と、 前記フレームに取り付けられた参照サブシステム(3)であって、該参照サブシステム(3)は、第2のアクチュエータ(30)、前記第2のアクチュエータ(30)と動作可能に接続された参照構造体(33)、及び前記参照構造体(33)と前記試料の表面の所定の間隔を決定するように適合された距離検出器を備える、前記参照サブシステム(3)と を備えた測定ヘッドにおいて、 前記測定ヘッドが、 前記圧子(26)と前記参照構造体(33)との相対位置を決定するように適合された相対位置検知システムと、 前記相対位置検知システムの出力に少なくとも部分的に基づき、前記試料の表面への前記圧子の押し込み深さを決定するための手段とをさらに備えることを特徴とし、 前記距離検出器は、前記参照構造体(33)から突き出て前記試料の表面に接触するように配置されたトポグラフィ先端具(36)を備えることをさらに特徴とする、測定ヘッド。

IPC (1件)：

G01N 3/42

FI (1件)：

G01N3/42 E