特許
J-GLOBAL ID：201603015729049350
波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
渡辺 和昭
, 西田 圭介
, 仲井 智至
, 須澤 修
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-089970
公開番号（公開出願番号）：特開2013-218193
特許番号：特許第6003168号
出願日： 2012年04月11日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第一基板と、
前記第一基板に対向して配置された第二基板と、
前記第一基板に設けられた第一反射膜と、
前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜に対して反射膜間ギャップを介して対向する第二反射膜と、
前記第一基板に設けられた第一電極と、
前記第二基板に設けられ、前記第一電極に対向する第二電極と、
を備え、
前記第一電極及び前記第二電極は、平面視において、前記第一反射膜及び前記第二反射膜が重なり合う光干渉領域の外側に設けられ、前記第一電極と前記第二電極との間に電圧が印加されることにより前記反射膜間ギャップが変化し、
前記平面視において、前記第一電極の前記光干渉領域側の周縁は、前記第二電極の周縁よりも前記光干渉領域に近い側に位置し、
前記平面視において、前記第一電極の前記光干渉領域とは反対側の周縁は、前記第二電極の周縁よりも前記光干渉領域から離れる側に位置することを特徴とする波長可変干渉フィルター。
IPC (6件)：
G02B 26/00 ( 200 6.01)
, G02B 5/28 ( 200 6.01)
, G01J 3/50 ( 200 6.01)
, G01J 3/26 ( 200 6.01)
, G01N 21/27 ( 200 6.01)
, G01N 21/65 ( 200 6.01)
G02B 26/00
, G02B 5/28
, G01J 3/50
, G01J 3/26
, G01N 21/27 B
, G01N 21/65
