特許
J-GLOBAL ID：201603015972509327

光照射装置

発明者：
石飛 裕和

石飛 裕和 について

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デン,シュエゴン

デン,シュエゴン について

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トンブラー,トーマス ジュニア レイ

トンブラー,トーマス ジュニア レイ について


出願人/特許権者：
岩崎電気株式会社

岩崎電気株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人クシブチ国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-008431
公開番号（公開出願番号）：特開2016-142734
特許番号：特許第5978528号
出願日： 2016年01月20日
公開日（公表日）： 2016年08月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 偏光した光を照射する光照射装置において、 光源と、 この光源の光を偏光し、光の一つ以上の波長において100:1以上10000:1以下の消光比を有する複数の装置側偏光子と、 検出側偏光子を有する偏光測定機構とを備え、 前記偏光測定機構は、前記装置側偏光子及び前記検出側偏光子を順に透過した光を、前記検出側偏光子の偏光軸角度を変えながら検出し、前記検出側偏光子の前記偏光軸角度を変えながら検出した光の光量の周期的な変化を示す変化曲線を求め、この変化曲線から前記装置側偏光子の偏光軸の方向を求め、この方向を求める手順を繰り返して、複数の装置側偏光子の全ての偏光軸の方向を求め、 前記偏光測定機構は、前記光照射装置から移動可能又は前記光照射装置と分離可能であることを特徴とする光照射装置。
IPC (5件)：
G02F 1/1337 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  G01M 11/00 ( 200 6.01) ,  G01J 4/04 ( 200 6.01) ,  G02B 5/30 ( 200 6.01)
FI (5件)：
G02F 1/133 ,  H01L 21/30 541 D ,  G01M 11/00 T ,  G01J 4/04 Z ,  G02B 5/30
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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