特許
J-GLOBAL ID:201603016087759800

絶対角測定装置及び絶対角測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 須田 篤 ,  楠 修二
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2014-192867
公開番号(公開出願番号):特開2016-065719
出願日: 2014年09月22日
公開日(公表日): 2016年04月28日
要約:
【課題】測定対象物の絶対姿勢角を非接触で高精度に取得する技術を提供する。【解決手段】等周波数間隔多波長レーザー光源(いわゆるフェムト秒レーザー)1を測定光3として用い、これを測定対象物10に搭載した回折格子5に入射させた際に発生する1次回折光6を集光レンズ7によって集光した際に、集光レンズ7の後方焦点面上に得られる集光スポット群を角度スケールコムとして用い、回折格子5を搭載した測定対象物10の絶対姿勢角を取得する。集光スポット群内のスポット同士の間隔は、各々のスポットに対応する光束の波長によって決まるが、用いるレーザー光源は周波数が高精度に制御されているため、各光束の波長も安定しており、結果として安定したスポット間隔を有するレーザースポット群としての角度スケールコムが得られる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
等周波数間隔多波長レーザー光源と、 前記等周波数間隔多波長レーザー光源から照射されるレーザー光をコリメートしてコリメート光束を生成するコリメート部と、 前記コリメート光束を入射する回折格子と、 前記回折格子からの1次回折光束を集光する集光レンズと、 前記集光レンズの後方焦点距離位置に配置した受光素子と、 を有することを特徴とする光学式の絶対角測定装置。
IPC (1件):
G01B 11/26
FI (1件):
G01B11/26 G
Fターム (20件):
2F065AA37 ,  2F065BB01 ,  2F065CC10 ,  2F065DD03 ,  2F065FF43 ,  2F065FF48 ,  2F065GG04 ,  2F065GG06 ,  2F065GG23 ,  2F065HH03 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ15 ,  2F065JJ23 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065LL42 ,  2F065LL47 ,  2F065LL57 ,  2F065UU08

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