特許
J-GLOBAL ID：201603016154692317

フォトリソグラフィ露光システムの光源の調整方法およびフォトリソグラフィデバイス用の露光アセンブリ

発明者：
ポール・カイザー

ポール・カイザー について


出願人/特許権者：
ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング

ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング について


代理人 (4件)： 山田 卓二 ,  田中 光雄 ,  竹内 三喜夫 ,  中野 晴夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-018585
公開番号（公開出願番号）：特開2016-194673
出願日： 2016年02月03日
公開日（公表日）： 2016年11月17日
要約：
【課題】露光アセンブリの異なる波長の強度分布を、長い期間一定に保つことを確保するフォトリソグラフィデバイスのための露光アセンブリを提供する。【解決手段】複数のLEDを含むフォトリソグラフィ露光システムの光源を、以下の工程:特定の波長範囲で個々のLEDの光出力を検出する工程、および検出した光出力を、全体のスペクトルについて、所望の光出力分布と比較する工程、の手段により調整する。LEDは操作されて、可能な最も正確な方法で、所望のスペクトルの光出力分布が達成される。また、複数のLEDを含む光源、個々のLEDに供給される電力を制御する制御手段、およびそれぞれの波長範囲でLEDの光出力を検出できるセンサを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数のLED(18、20、22)を含むフォトリソグラフィ露光システムの光源(16)を調整する方法であって、 特定の波長範囲で個々のLED(18、20、22)の光出力を検出する工程と、 検出した光出力を、全体のスペクトルについて、所望の光出力分布と比較する工程と、 LED(18、20、22)が操作されて、可能な最も正確な方法で、所望のスペクトルの光出力分布が達成される工程と、を含む方法。
IPC (2件)：
G03F 7/20 ,  H05B 37/02
FI (3件)：
G03F7/20 501 ,  H05B37/02 L ,  G03F7/20 521
Fターム (24件)：
2H197BA09 ,  2H197BA11 ,  2H197CA13 ,  2H197CA20 ,  2H197DB03 ,  2H197DB06 ,  2H197DC02 ,  2H197DC12 ,  2H197HA03 ,  3K273PA09 ,  3K273QA08 ,  3K273QA28 ,  3K273SA02 ,  3K273SA06 ,  3K273SA35 ,  3K273SA46 ,  3K273TA05 ,  3K273TA09 ,  3K273TA15 ,  3K273TA38 ,  3K273TA78 ,  3K273UA22 ,  3K273VA01 ,  3K273VA04
引用特許：
審査官引用 (4件)
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