特許
J-GLOBAL ID:201603016492144694
ステーターディスク
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
江崎 光史
, 鍛冶澤 實
, 篠原 淳司
, 清田 栄章
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-014138
公開番号(公開出願番号):特開2016-142268
出願日: 2016年01月28日
公開日(公表日): 2016年08月08日
要約:
【課題】ターボ分子ポンプの打ち抜かれたステーターディスクとしてより厚い薄板から製造されるとき、少なくとも基本的に内部応力無いままの状態であるステーターディスク、及びその製造方法を提供する。【解決手段】ターボ分子ポンプの為のステーターディスク24であって、内側リング66及び外側リング68並びにこれらの間に設けられた複数のステーター羽根70を有し、これらが其々ウェブ72,74を介して内側リング66及び外側リング68と接続されており、その際、ステーターディスク24が、目立てられた複数のステーター羽根70と、周囲方向において、特にステーター羽根70の数量に相当する数量の互いに分離された円環部分76に細分された外側リング68を有する打ち抜かれたステーターディスクとして形成されている。【選択図】図2
請求項(抜粋):
真空ポンプ(10)、特にターボ分子ポンプの為のステーターディスク(24)であって、内側リング(66)及び外側リング(68)並びにこれらの間に設けられた複数のステーター羽根(70)を有し、これらが其々ウェブ(72,74)を介して内側リング(66)及び外側リング(68)と接続されており、その際、ステーターディスク(24)が、目立てられた複数のステーター羽根(70)と、周囲方向において、特にステーター羽根(70)の数量に相当する数量の互いに分離された円環部分(76)に細分された外側リング(68)を有する打ち抜かれたステーターディスクとして形成されていることを特徴とするステーターディスク。
IPC (1件):
FI (2件):
F04D19/04 D
, F04D19/04 F
Fターム (4件):
3H131AA02
, 3H131AA07
, 3H131BA06
, 3H131CA03
引用特許:
出願人引用 (3件)
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特開平1-237395
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ターボ分子ポンプ用ステータ・ディスク
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-115643
出願人:プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
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ターボ分子ポンプ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-153375
出願人:株式会社島津製作所
審査官引用 (3件)
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特開平1-237395
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ターボ分子ポンプ用ステータ・ディスク
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-115643
出願人:プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
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ターボ分子ポンプ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-153375
出願人:株式会社島津製作所
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