特許
J-GLOBAL ID：201603016503665489
ターゲット供給装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
保坂 延寿
, 宇都宮 正明
, 渡部 温
, 柳瀬 睦肇
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-047983
公開番号（公開出願番号）：特開2013-182864
特許番号：特許第5982137号
出願日： 2012年03月05日
公開日（公表日）： 2013年09月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 液体のターゲット物質を内部に収容するための容器と、
前記容器に収容された液体のターゲット物質に電気的に接続された第1電極と、
導電性の材料を含み、前記容器に収容された液体のターゲット物質を放出するための貫通孔が形成されたノズル部と、
前記第1電極に第1の電位を印加するための第1電源と、
前記第1電極に電気的に接続され、前記第1電極の電位変動を抑制するように構成された回路と、
前記ノズル部の前記貫通孔に対向して配置された第2電極と、
前記第2電極に、前記第1の電位と異なる第2の電位を印加するための第2電源と、
を備え、
前記第1電極は前記ノズル部を介して液体のターゲット物質に電気的に接続された、ターゲット供給装置。
IPC (2件)：
H05G 2/00 ( 200 6.01)
, H01L 21/027 ( 200 6.01)
H05G 2/00 K
, H01L 21/30 531 S
