特許
J-GLOBAL ID：201603016675803549
吸着ヘッドおよび部品搭載装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
家入 健
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-218049
公開番号（公開出願番号）：特開2014-072421
特許番号：特許第5935637号
出願日： 2012年09月28日
公開日（公表日）： 2014年04月21日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 コレットによりチップを吸着する構造を有する吸着ヘッドにおいて、前記コレットの先端に前記チップの上面を吸着するためのチップ吸着面と、真空引きの動作により前記チップ吸着面に前記チップの上面を吸着させるために前記チップ吸着面に貫通して形成されたチップ吸着穴と、前記コレットの側面に貫通した複数の側面吸着穴と、前記コレットの側面に沿って近接した位置であって、かつ、貫通した前記側面吸着穴それぞれに対向した位置にそれぞれの側面部を配置した複数の板ばねと、を少なくとも備え、前記側面吸着穴に対する真空引きにより前記板ばねそれぞれの側面部が前記側面吸着穴に吸着された際に、前記板ばねの先端部が、前記チップ吸着面に平行な方向に移動することを特徴とする吸着ヘッド。
IPC (1件)：
FI (1件)：
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