特許
J-GLOBAL ID:201603016752768530

透明材料の高速レーザ処理

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 中島 淳 ,  加藤 和詳
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-543336
公開番号(公開出願番号):特表2016-503383
出願日: 2013年11月20日
公開日(公表日): 2016年02月04日
要約:
レーザビーム(14)を用いて層状材料(31)をレーザ予備切断するための方法とシステムが開示される。層状材料(31)は、少なくとも1つの引張応力層(TSL)と、少なくとも1つの圧縮応力層(CSL1、CSL2)と、少なくとも1つの引張応力層(TSL)と少なくとも1つの圧縮応力層(CSL1、CSL2)との間の少なくとも1つのインタフェース領域(IR1、IR2)とを備え、層状材料(31)中をレーザビーム(14)が伝播可能であるように透明である。この方法は、レーザビーム(14)と層状材料(31)との相互作用により、層状材料(31)内に伸長した損傷領域(57)が生成されるように、光学ビーム経路(8)とレーザビーム(14)のレーザ特性を設定することと、層状材料(31)の一連の予備切断位置(XN-1、XN、XN+1)のそれぞれに対して、層状材料(31)とレーザビーム(14)を相互に位置決めし、かつそれぞれの伸長した損傷領域(57)が少なくとも1つのインタフェース領域(IR1、IR2)を横断して延伸するようにレーザビーム(14)を照射することによって、層状材料(31)の予備切断を行うことと、を含む。
請求項(抜粋):
ベッセル型パルスレーザビーム(14)を用いて層状材料(31)をレーザで予備切断する方法であって、 前記層状材料(31)は、 少なくとも1つの引張応力層(TSL)と、 少なくとも1つの圧縮応力層(CSL1、CSL2)と、 前記少なくとも1つの引張応力層(TSL)と前記少なくとも1つの圧縮応力層(CSL1、CSL2)との間の少なくとも1つのインタフェース領域(IR1、IR2)と、 を備え、かつ 前記層状材料(31)は前記レーザビーム(14)が前記層状材料(31)中を伝播するように透明であって、 前記方法は、 前記レーザビーム(14)と前記層状材料(31)との相互作用により、前記層状材料(31)内に伸長した単一レーザパルス損傷領域(57)が生成されるように、光学ビーム経路(8)と前記レーザビーム(14)のレーザ特性とを設定することと、 前記層状材料(31)の一連の予備切断位置(XN-1、XN、XN+1)のそれぞれに対して、前記伸長した単一レーザパルス損傷領域(57)のそれぞれが前記少なくとも1つのインタフェース領域(IR1、IR2)を横断して延伸するように、前記層状材料(31)と前記レーザビーム(14)とを相互に位置決めするとともに前記レーザビーム(14)を照射することによって、前記層状材料(31)の予備切断を行うことと、 を含む、方法。
IPC (5件):
C03B 33/09 ,  B23K 26/073 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/53 ,  B23K 26/046
FI (6件):
C03B33/09 ,  B23K26/073 ,  B23K26/00 G ,  B23K26/53 ,  B23K26/00 N ,  B23K26/046
Fターム (18件):
4E168AE02 ,  4E168CB03 ,  4E168CB07 ,  4E168CB11 ,  4E168DA02 ,  4E168DA39 ,  4E168DA40 ,  4E168DA46 ,  4E168DA47 ,  4E168JA11 ,  4E168JA14 ,  4E168JA15 ,  4E168JA17 ,  4E168JA28 ,  4E168KA08 ,  4G015FA06 ,  4G015FB01 ,  4G015FC02
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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