特許

J-GLOBAL ID：201603016769256495

検査装置および検査方法

発明者： 永田 泰史
出願人/特許権者： 株式会社SCREENホールディングス
代理人 (3件)： 松阪 正弘 ,  田中 勉 ,  井田 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-181054
公開番号（公開出願番号）：特開2016-057075
出願日： 2014年09月05日
公開日（公表日）： 2016年04月21日
要約：

【課題】対象物の梨地状の表面における欠陥を精度よく検出する。【解決手段】検査装置では、対象物9の表面における対象領域に対して複数の方向からそれぞれ光を照射する複数の光源部42,43が設けられ、複数の光源部のうちの一の光源部からの光の照射により一の撮像部32,33にて対象領域を示す第1撮像画像が取得され、複数の光源部からの光の照射により当該撮像部にて第2撮像画像が取得される。また、第1撮像画像と当該第1撮像画像に対応する第1参照画像とを比較することにより第1欠陥候補領域が検出され、第2撮像画像と当該第2撮像画像に対応する第2参照画像とを比較することにより第2欠陥候補領域が検出される。そして、第1欠陥候補領域および第2欠陥候補領域において重複する領域が、対象領域における欠陥領域として特定される。これにより、対象物の梨地状の表面における欠陥を精度よく検出することができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

表面に梨地状の領域を有する対象物の外観を検査する検査装置であって、 対象物の表面における所定の対象領域に対して一の方向のみから光を照射する第1照明部と、 前記対象領域に対して複数の方向から光を照射する第2照明部と、 前記対象領域を撮像する撮像部と、 前記第1照明部からの光の照射により前記撮像部にて取得される第1撮像画像と前記第1撮像画像に対応する第1参照画像とを比較することにより、前記対象領域における欠陥候補の領域を第1欠陥候補領域として検出し、前記第2照明部からの光の照射により前記撮像部にて取得される第2撮像画像と前記第2撮像画像に対応する第2参照画像とを比較することにより、前記対象領域における欠陥候補の領域を第2欠陥候補領域として検出する欠陥候補検出部と、 前記第1欠陥候補領域および前記第2欠陥候補領域において重複する領域を、前記対象領域における欠陥領域として特定する欠陥特定部と、 を備えることを特徴とする検査装置。

IPC (1件)：

G01N 21/88

FI (1件)：

G01N21/88 J

Fターム (24件)：

2G051AA07 ,  2G051AA32 ,  2G051AA41 ,  2G051AB07 ,  2G051AC02 ,  2G051AC21 ,  2G051BA01 ,  2G051BA02 ,  2G051BC07 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CA08 ,  2G051CB01 ,  2G051DA08 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16 ,  2G051EA25 ,  2G051EB01 ,  2G051EC05 ,  2G051ED05 ,  2G051ED08 ,  2G051ED09 ,  2G051ED12